安徽理工大学高峰学科建设经费购置仪器信息核准表
所属学院：化工与爆破学院 仪器存放地点：崇礼南楼210
仪器名称 |
离子减薄仪 |
国别 |
德国 |
高峰学科 仪器编号 |
GFYQ 2021-2-1-33 |
型号 |
EM RES102 |
安装日期 |
2021年11月 |
生产厂家 |
德国徕卡 |
设备管理人 |
李雪交 |
联系电话 |
18225542118 |
电子邮箱 |
1197896855@qq.com |
技术指标与参数 1、两把离子枪，鞍型场枪优先； 2、离子能量调节范围：0.8keV 至 10keV（0.1keV 每步）； 3、离子束流：最大束流不低于 3.5mA（每把离子枪）； 4、离子束半高宽 FWHM：10keV 条件下可达到 0.8mm，2keV 条件下可达到 2.5mm； 5、工作气体：高纯氩气； 6、离子枪倾斜角度：每把枪±45°(设置精度 0.1°)； 7、离子束相对样品加工角度：0°－90° (依据不同的样品台)； 8、样品台旋转转速：0.6－10rpm； 9、平面摆动角度：＜360°，步径 1°； 10、水平移动距离：±5mm，精度 0.1mm； 11、样品台倾斜角度：-230°－100°； 12、TEM 样品单面或双面低角度（最小 4°）离子减薄； 13、SEM 样品大面积抛光，最大抛光面积不小于 20mm 直径； 14、全电脑自动控制； 15、22 英寸触摸屏操作界面，可设置参数及编程，实现对样品自动化离子束研磨加工； 16、带有离子束研磨加工过程视频监控功能，便于实时观察； 17、带有穿孔自动终止功能，可根据透光率自动识别穿孔，并终止减薄； 18、全无油真空系统，真空度＜1x10-5 mbar； 19、真空泵包括：隔膜泵×1+分子泵（70L/s）×1； 20、工作气体氩气进气阀为电脑自动控制； 21、样品室带有预交换舱，保证样品交换时间为 1 分钟之内。 |
仪器照片
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