安徽理工大学高峰学科建设经费购置仪器信息核准表
所属学院:安全科学与工程学院 仪器存放地点:职健中心北楼204
仪器名称 |
光学3D表面轮廓仪 |
国别 |
西班牙 |
高峰学科 仪器编号 |
GFYQ 2023-2-1-21 |
型号 |
SENSOFAR Sneox90 |
安装日期 |
2024年4月8日 |
生产厂家 |
西班牙SENSOFAR |
设备管理人 |
郑苑楠 |
联系电话 |
13641531012 |
电子邮箱 |
yuannanzheng@163.com |
技术指标与参数 1、同时具备共聚焦,白光干涉,相位差干涉,多焦面叠加测量技术。 2、纵向分辨率:0.1nm 3、显示分辨率:0.001nm 4、台阶高度重复性:0.1% 5、台阶高度精度:0.5% 6、最大样品高度:150mm 7、配备20 倍共聚焦镜头,100 倍共聚焦镜头;50 倍干涉镜头 8、分析功能:可视化 2D/3D 视图,等高线图,ISO25178 粗糙度,几何(尺寸,阶跃深度,角度),结构分析(颗粒统计,孔分析),频率分析,功能分析等。 |
仪器照片 
图1.实验室实物图

图2.厂家官网示意图 |