安全科学与工程学科

光学3D表面轮廓仪

信息来源: 发布日期:2024-05-08


安徽理工大学高峰学科建设经费购置仪器信息核准表

所属学院:安全科学与工程学院     仪器存放地点:职健中心北楼204


仪器名称

光学3D表面轮廓仪

国别

西班牙

高峰学科

仪器编号

GFYQ 2023-2-1-21

型号

SENSOFAR Sneox90

安装日期

202448

生产厂家

西班牙SENSOFAR

设备管理人

郑苑楠

联系电话

13641531012

电子邮箱

yuannanzheng@163.com

技术指标与参数

1、同时具备共聚焦,白光干涉,相位差干涉,多焦面叠加测量技术。

2、纵向分辨率:0.1nm

3、显示分辨率:0.001nm

4、台阶高度重复性:0.1%

5、台阶高度精度:0.5%

6、最大样品高度:150mm

7、配备20 倍共聚焦镜头,100 倍共聚焦镜头;50 倍干涉镜头

8、分析功能:可视化 2D/3D 视图,等高线图,ISO25178 粗糙度,几何(尺寸,阶跃深度,角度),结构分析(颗粒统计,孔分析),频率分析,功能分析等。

仪器照片

                               

                                                   

1.实验室实物图


2.厂家官网示意图